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* 반도체 증착공정 및 Burn in 테스트 설비 시뮬레이션 *
- 생산 라인 추가
- 증착 방법 설정(PVD, CVD, ALD)
- PVD(물리기상증착법)
속도:100, 품질:88~98
- CVD(화학기상증착법)
속도:98, 품질:90~100
- ALD(원자층증착법)
속도:60, 품질:95~100
- 재료 추가
증착 이전 공정까지 진행한 반제품 개수 입력
- 가동
- 생산 라인을 선택
- 가동 멈춤
- 생산 라인을 멈춤
*생산한 제품은 테스트 공정을 수행한다.
*설비에서 수행할 수 있는 기능을 원격(설비에서 떨어진 곳, 예:중앙 제어실)에서 제어할 수 있다.
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