* 반도체 증착공정 및 Burn in 테스트 설비 시뮬레이션 * - 생산 라인 추가 - 증착 방법 설정(PVD, CVD, ALD) - PVD(물리기상증착법) 속도:100, 품질:88~98 - CVD(화학기상증착법) 속도:98, 품질:90~100 - ALD(원자층증착법) 속도:60, 품질:95~100 - 재료 추가 증착 이전 공정까지 진행한 반제품 개수 입력 - 가동 - 생산 라인을 선택 - 가동 멈춤 - 생산 라인을 멈춤 *생산한 제품은 테스트 공정을 수행한다. *설비에서 수행할 수 있는 기능을 원격(설비에서 떨어진 곳, 예:중앙 제어실)에서 제어할 수 있다.